根據(jù)ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，1000級(jí)無(wú)塵車(chē)間也稱(chēng)為ISO 6級(jí)無(wú)塵車(chē)間，是一種受控環(huán)境，旨在保持極低的空氣傳播微粒水平。具體來(lái)說(shuō)，它允許每立方英尺空氣中不超過(guò)1,000個(gè)顆粒(顆粒≥0.5 微米)，即每立方米不超過(guò)35,200個(gè)顆粒。
顆粒濃度限制
顆?！?.5微米：每立方英尺1,000個(gè)顆粒(每立方米35,200個(gè)顆粒)顆?！?5.0微米：每立方米293個(gè)顆粒。
氣流和過(guò)濾
HEPA過(guò)濾器(高效微?？諝膺^(guò)濾器)：這些過(guò)濾器必須至少去除99.97%直徑為0.3微米的空氣顆粒。層流：通常用于確?？諝庖詥我环较蛄鲃?dòng)，減少湍流和顆粒污染的可能性。高換氣率：通常每小時(shí)換氣150-240次左右，以保持所需的潔凈度。
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